工業(yè)上，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。氣體產(chǎn)品種類繁多，大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類。常見高純氣體的用途高純氧:高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;

高純氦：用作氦氣球、氦氣飛艇的填充氣體，以取代其有高度可燃性的氫氣，與高純二氧化碳和高純氮氣一起用作二氧化碳激光切割機的激光氣體，液氦用于核磁共振成像儀的超導(dǎo)磁體，跟醫(yī)用氧氣一起用于深海作業(yè)的呼吸氣體，用作空調(diào)領(lǐng)域氦漏儀的檢漏氣體，跟高純氬氣一起用作特殊焊接的保護氣體，用作氣相色譜儀/氣質(zhì)聯(lián)用儀等儀器的載氣

高純氬：高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。 在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)鋼的重要措施，每煉1t鋼的氬氣消耗量為1～3m3。此外，對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業(yè)中也需要用氬作保護氣。

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高純氬

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