硅烷
硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級(jí)的硅氫化合物。目前應(yīng)用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡(jiǎn)稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造先進(jìn)陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強(qiáng)的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
生產(chǎn)工藝：主要三種：硅鎂合金法工藝（小松法）；氯硅烷歧化工藝（UCC）；金屬氫化物工藝（MEMC法）三種。本公司硅烷生產(chǎn)工藝為氯硅烷歧化工藝（UCC）同REC工藝一致。
應(yīng)用方式：氣相沉積、外延生長(zhǎng)、鍍膜、擴(kuò)散等工藝。
包裝方式：
- Y瓶（470L約125KG，常溫下壓力約130KG），用于一般用途。
- 管束車（又稱魚雷車，20尺8管約2.8噸，壓力約110KG左右），用作大批量運(yùn)輸和使用。
- 另有12KG小包裝氣瓶。
儲(chǔ)存：
1.在通風(fēng)良好、安全且不受天氣影響的地方存儲(chǔ)。鋼瓶應(yīng)直立擺放。且保持保護(hù)性閥蓋和輸出閥的密封完好。
2.存儲(chǔ)區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn)離頻繁出入處和緊急出口。儲(chǔ)存區(qū)域內(nèi)不應(yīng)有火源，儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)所有電器必須有防爆設(shè)施。易燃物存放區(qū)應(yīng)與氧及氧化物存放區(qū)最少相距20ft 。
3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障，以保證能耐火半小時(shí)。儲(chǔ)存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應(yīng)有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。
4.存儲(chǔ)溫度不可高于125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲(chǔ)和存儲(chǔ)時(shí)間過長(zhǎng)。
5.使用先進(jìn)先出系統(tǒng)。應(yīng)考慮在儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)安裝測(cè)漏器和報(bào)警設(shè)備。
硅烷氣體的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) 僅供參考
| 項(xiàng)目名稱 | 雜質(zhì)含量（ppm) |
| 硅烷 純度指標(biāo)（%） ≥99.9999 | |
| 氬氣（Ar） | ≤0.05 |
| 氯硅烷（Chlorosilane)） | ≤0.15 |
| 乙硅烷（Si2H6)) | ≤0.5 |
| 氦氣（He） | ≤1 |
| 一氧化碳（CO） | ≤0.05 |
| 氧氣（O2） | ≤0.05 |
| 氮?dú)猓∟2） | ≤1 |
| 氫氣（H2） | ≤20 |
| 二氧化碳（CO2） | ≤0.05 |
| 甲烷（CH4） | ≤0.05 |
| 碳（C） | ≤0.2 |
| 二氯二氫硅（SiH2Cl2) | ≤0.5 |
| 甲基硅烷（CH3Si) | ≤0.5 |
| 金屬離子（Metals) | ≤0.03 |
硅烷氣體使用當(dāng)中的注意事項(xiàng)
硅烷氣體注意事項(xiàng)：使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng)，保持室內(nèi)空氣干燥。硅烷裝置要嚴(yán)格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復(fù)進(jìn)行置換和抽真空，一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏時(shí)，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處，要遠(yuǎn)離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護(hù)用品及應(yīng)急用品。硅烷無腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤(rùn)滑油、玻璃。凡是可燃性的有機(jī)高分子材料應(yīng)該避免使用。當(dāng)硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著就要著火，所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢(shì)，使火災(zāi)不向周圍蔓延。燃燒時(shí)輻射熱不太高，所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門以止住氣體的流出?？捎冒籽┦刍蚴巯ɑ稹U氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
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