超高純氣體
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超高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。
高純氣體產(chǎn)品系列
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?產(chǎn)品名稱
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規(guī)格 | 包裝 |
| 氮氣 | 99.999%，99.9999% | 4L、8L、40L、50L |
| 氦氣 | 99.999%，99.9999% | 4L、8L、40L、50L |
| 氬氣 | 99.999%，99.9999% | 4L、8L、40L、50L |
| 氫氣 | 99.999%，99.9999% | 4L、8L、40L、50L |
| 空氣 | 合成空氣 | 40L、50L |
| LGC | N2,Ar | 杜瓦罐 |
| 二氧化碳 | 99.99%，99.999% | 4L、8L、40L、50L |
| 一氧化碳 | 99.9%，99.998% | 4L、8L、40L |
| 一氧化氮 | 99.5%，99.9% | 8L,40L |
| 六氟化硫 | 99.99%，99.999%，99.9995% | 4L、8L、40L |
| 甲烷 | 99.9% | 4L、8L、40L |
| 丙烷 | 燃?xì)獗?95% | 丙烷瓶（50kg、30kg、15kg） |
| 乙烷 | 99.9% | 4L、8L、40L |
| 乙烯 | 99.9% | 4L、8L、40L |
| 丙烯 | 99% | 40L，丙烯瓶 |
| 正丁烷 | 99% | 40L |
| 異丁烷 | 99.9 | 40L |
| 四氟化碳 | 4L、8L | |
| 1，3丁二烯 | 4L、8L、40L |
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